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2寸蓝宝石参数如下:
项目 Item 规格 Specifications
晶向 Orientation C-plane(0001)±0.1°
直径 Dismeter 50.8±0.1mm
厚度 Thickness 330μm/430μm±25μm
材料 Material 高纯度(> 99.996%)
单晶Al2O3
总厚度偏差 TTV <5μm
翘曲度 BOW <5μm
定位面方向
Primary Flat Location A-plane(11-20)±0.5 °
定位边长
Primary Flat Length 16±1.0mm
正面
Front Surface epi-ready polished
(外延开盒即用)
表面粗糙度
Surface Roughness Ra≤0.3nm
包装 Package 洁净室内真空冲氮包装
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